分子構造解析部 機器詳細
走査型電子顕微鏡（GS-SEM）
- 管理番号：13
- メーカー：日本電子
- モデル番号：JSM-6510LV
- 機器区分：顕微鏡
- 設置場所：総合研究棟(大谷) 211 室
- 利用者区分：区分なし
概要
[測定原理]
非常に細く絞った電子ビームを試料微細部分に照射し、その時に発生する２次電子強度を検出する。テレビ画面の様に、この電子ビームを２次元的に掃引することにより、試料表面の画像を得る事ができる。0.5k~30kVで加速した電子ビームを照射し、x５～３０万倍までの像を得る事ができる。得られる画像は、ディスプレイ上に表示され、直ちに電子データとして記録する事ができる。試料の移動、回転、傾斜が可能で、狙った部分の画像を得る事ができる。また、電子源の保護により、低真空での試料観察が可能である。
非常に細く絞った電子ビームを試料微細部分に照射し、その時に発生する２次電子強度を検出する。テレビ画面の様に、この電子ビームを２次元的に掃引することにより、試料表面の画像を得る事ができる。0.5k~30kVで加速した電子ビームを照射し、x５～３０万倍までの像を得る事ができる。得られる画像は、ディスプレイ上に表示され、直ちに電子データとして記録する事ができる。試料の移動、回転、傾斜が可能で、狙った部分の画像を得る事ができる。また、電子源の保護により、低真空での試料観察が可能である。
仕様
[測定方法]
マニュアルに沿って装置を立ち上げ、高真空状態にする。薄片または微小な試料を10 mm直径の真鍮ホルダーに固定する（炭素両面テープを使う）。通常、白金コーターで白金薄膜を蒸着させる。注意深くSEM本体の試料室を開ける。注意深く、試料フォルダーを本体にセットし、静かに資料室を閉める。その後、高真空にしてから測定を開始する。この場合、レンズヘッドが試料上部にぶつからないよう十分注意する。最初低倍率、高Z位置の条件で像を得る。焦点、明るさ、コントラストを調整する。その後、徐々に倍率を上げて行く。観察条件により、分解能が大きく変化するので注意が必要である。得られた像に対して、コンピューター上で種々の画像処理を行う事ができる。
マニュアルに沿って装置を立ち上げ、高真空状態にする。薄片または微小な試料を10 mm直径の真鍮ホルダーに固定する（炭素両面テープを使う）。通常、白金コーターで白金薄膜を蒸着させる。注意深くSEM本体の試料室を開ける。注意深く、試料フォルダーを本体にセットし、静かに資料室を閉める。その後、高真空にしてから測定を開始する。この場合、レンズヘッドが試料上部にぶつからないよう十分注意する。最初低倍率、高Z位置の条件で像を得る。焦点、明るさ、コントラストを調整する。その後、徐々に倍率を上げて行く。観察条件により、分解能が大きく変化するので注意が必要である。得られた像に対して、コンピューター上で種々の画像処理を行う事ができる。
[応用]
動物、植物試料の表面微細構造観察、繊維質の微細構造観察。ナノ材料、ナノ構造の観察。構造のサイズ、面積の測定。凍結乾燥機を用いて、組織を壊さずにSEM観察することができる。凍結乾燥機を用い、生物断面を壊さずに観察することができる。
動物、植物試料の表面微細構造観察、繊維質の微細構造観察。ナノ材料、ナノ構造の観察。構造のサイズ、面積の測定。凍結乾燥機を用いて、組織を壊さずにSEM観察することができる。凍結乾燥機を用い、生物断面を壊さずに観察することができる。