総合研究棟 機器リスト

管理番号
[26]
機器名
2 次イオン質量分析装置
メーカー
日本真空社
モデル番号
SIMS250D
機器区分
質量分析装置
設置場所
総合研究棟(大谷) 225 室
利用者区分
区分なし

概要

[測定原理] ガス分析: 試料室内で測定するガスを発生させ、オリフィスを通して一部を分析室に入れる。 このガス状分子を 4 重極型質量分析器で分析する。 電子衝突イオン化装置がついている。 質量範囲は 1 〜 500 ダルトンである。 SIMS 分析: 基板試料(あるいは基板に試料を塗布した物)にアルコン正イオンビームを照射し、表面原子層でスパッターイオン化した原子分子を質量分析する。 イオンビームは 2 次元掃印可能であり、試料の 3 次元的元素分析が可能。 また、塗布試料を昇華させて分子分析をすることも可能。

 

[測定方法] ガス分析: 試料室内に微量の試料ガスを入れる。 あるいは試料室内で加熱操作などを行いガスを発生させる。 4 重極型質量分析器の正イオンあるいは負イオンモードを選び。 また、電子ビームを適当な条件で発生させる。 すると、ガス分子がイオン化し質量を測定することができる。 SIMS分析: マジックハンドに試料基板を乗せてから、分析室を真空にする。 その後、ビーキングヒーターを用い分析室内を約 100 ℃ で 1 日くらい加熱し、ガス出しを行う。 高真空状態に達してからアルゴンイオンビームを焦点を合わせて照射する。 発生イオンの質量を分析する。

 

[応用] ◎ポリマー個体試料を昇華させ、質量分析することが可能。 ◎試料内微量不純元素の分析が可能。 ◎多層固体、不純物含有固体の深さ方向元素分析が可能。 ◎負イオン分析が可能。 ◎反応時発生する気体の分析が可能。

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