総合研究棟 機器リスト

管理番号
[21]
機器名
光電子分光装置
メーカー
アルバックファイ
モデル番号
特注品
機器区分
分光器
設置場所
総合研究棟(大谷) 225 室
利用者区分
区分なし

概要

[測定原理] 試料に X 線および紫外線を照射することで光電効果が起こる。 照射した X 線のエネルギー hv と放出された光電子の運動エネルギー Ek、電子の束縛エネルギー Eb には Eb = hv - Ek という関係式が成り立つため、光電子分光法は X 線および紫外線により固体試料の内殻電子および価電子を励起し、その際、照射する X 線のエネルギー値を固定し、放出された光電子の運動エネルギーを分析することで、固体試料の内殻電子から価電子にわたる電子状態を明らかにする手法である。 また、本装置には昇温脱離装置が備え付けられている。 昇温脱離測定は真空中で昇温加熱し、放出してきたガス種について質量分析計を用いて測定する手法である。 なお、本装置は高エネルギー粒子発生装置、X 線光電子分光装置(XPS)、紫外光電子分光装置(UPS)および昇温脱離装置(TDS)から構成されている。
 
[測定方法] 試料は基本的に固体試料(金属、セラミックス、炭素系材料、半導体材料等)であれば如何なる試料についても測定可能である。 しかし、ステンレス真空容器等金属材料を腐食させるガスを発生させる試料は使用不可である。
 
[応用] 本装置は昇温脱離装置と連結されているため、両測定手法を用いた一連の実験を大気に曝すことなく行うことが可能である。 X 線光電子分光測定では固体表面の化学状態分析および組成分析が可能であり、昇温脱離測定では固体試料中に注入された粒子または表面に吸着した粒子の放出挙動を測定することにより、固体内部に入射した高エネルギー粒子の固体内での移行挙動または表面脱離挙動を検討することが可能である。

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